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半导体芯片微纳加工工艺技术培训
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一、课程背景
技能人才是支撑中国制造、中国创造的重要力量。半导体专业是未来发展的战略新兴行业的重要支撑专业。中共中央办公厅、国务院办公厅印发了《关于加强新时代高技能人才队伍建设的意见》的通知，为贯彻落实党中央、国务院决策部署，加强新时代高技能人才队伍建设，加快培养创“芯”人才，现开设半导体芯片微纳加工工艺技术培训课程，旨在进一步提升对该领域相关知识的深刻认知与理解、通过专业应用老师的讲解分享，培养专业应用型人才。
二、培训对象
企业在职人员，相关专业学生及有意愿从事半导体、集成电路等行业的人员。
三、专业要求：
集成电路、微电子、电子信息、通信、计算机、自动化、汽车制造、机电工程、材料等理工科专业学生或毕业生，或具有上述专业基础知识或相关工作经验的人员。
四、培训目标：
1、理解半导体工艺的基本制程、工艺参数设计、仪器设备操作规范与流程、质量检测/检测方法等。
2、能够根据工艺文件选用仪器设备，确定实现工艺的方式和参数，选择实现工艺所需气体、化学试剂等物料。
3、了解各工艺节点的质量检测技术，包括电学性能、几何参数等。
五、课时及授课方式：
2天（16课时），线下面授+仿真实训教学
六、课程大纲：
时间安排 | 课程名称 | 涵盖的技术技能知识点 | 课程形式 | 学时 |
DAY1 9:00-12:00 | 微纳加工技术基础 | 微纳加工发展和总体介绍 | 理论 | 4 |
紫外光刻技术 | 光刻工艺基本原理、设备与典型应用 | |||
DAY1 13:00-17:00 | 光刻实训 | 仿真VR光刻机工艺操作 | 仿真实训 | 4 |
DAY2 9:00-12:00 | 等离子体刻蚀技术 | 刻蚀工艺基本原理、设备与典型应 | 理论 | 4 |
薄膜沉积技术 | 化学气相沉积、物理气相沉积工艺基本原理、设备与典型应用 | |||
DAY2 13:00-17:00 | 刻蚀和镀膜实训 | 仿真VR刻蚀工艺操作和仿真VR金属薄膜沉积操作 | 仿真实训 | 4 |
七、师资介绍（部分）：
翟老师，高级工程师，现任中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（纳米加工平台）光刻研发工程师，负责平台的光刻培训和光刻工艺开发，具有丰富的工艺经验。
张老师，高级工程师，现任中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（纳米加工平台）刻蚀组组长。有近十年的一线工艺经验，负责平台的刻蚀培训和干法刻蚀工艺开发，项目经验丰富。
曾老师，项研级高工，中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（纳米加工平台）博士，主讲微纳加工技术基础等。
注：师资将根据实际授课做灵活调整。
八、培训费用：
680元/人
九、开课计划
1、开课时间：2024年12月14日-15日，上午9:00--12:00、下午13:00--17:00
2、培训地点：中国科学院苏州纳米所
3、开班人数：满20人开班
十、组织单位：
苏州独墅湖科教发展有限公司
中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（纳米加工平台）
十一、咨询报名：【扫码报名】
王老师 13812661022
何老师 18351878123
冯老师 15306207541
分享到：
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